目前,國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達150余家,多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小??鐕髽I(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣,鄭州特種氣體, 顯示適當(dāng)?shù)奈kU標(biāo)記(例如、、有毒等) 。
特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備,特種氣體廠家,一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。目前,國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達150余家,多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小??鐕髽I(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨資的氣體公司,特種氣體公司,占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,特種氣體價格,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。
特種氣體的儲存注意事項:根據(jù)儲存的氣體類型設(shè)置標(biāo)牌,如“嚴(yán)禁明火”、“危險”、“禁止入內(nèi)”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設(shè)施。滅菌特種氣體可殺滅細菌(及其內(nèi)孢子)、霉菌及真菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用:非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
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