擴散泵:以低壓高速蒸汽流(油或等蒸汽)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作??煞譃椋孩?自凈化擴散泵:泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵② 分餾式擴散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴,而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴,它是一種多級油擴散泵。
羅茨泵:從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看,國外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,這5家總計才20%,羅茨泵產(chǎn)量不大,但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多。國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)基礎(chǔ)上設(shè)法進入國際市場另外,還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運行的可靠性。國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。
粗真空系主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結(jié)構(gòu)簡單,使用方便、工作可靠、維護方便的特點。主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕,不溶于水,含有少量固體顆粒的氣體,以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應(yīng)用于機械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。
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