在所有應(yīng)用產(chǎn)業(yè)中,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)靶材濺射薄膜的品質(zhì)要求是苛刻的。如今12英寸(300衄口)的硅晶片已制造出來.而互連線的寬度卻在減小。硅片制造商對(duì)靶材的要求是大尺寸、高純度、低偏析和細(xì)晶粒,這就要求所制造的靶材具有更好的微觀結(jié)構(gòu)。靶材的結(jié)晶粒子直徑和均勻性已被認(rèn)為是影響薄膜沉積率的關(guān)鍵因素。另外,薄膜的純度與靶材的純度關(guān)系極大,過99.995%(4N5)純度的銅靶,或許能夠滿足半導(dǎo)體廠商0.35pm工藝的需求,但是卻無法滿足如今0.25um的工藝要求。
加工工業(yè)里鉬用得更廣泛。高溫下使用的模具受熱、機(jī)械交變應(yīng)力作用導(dǎo)致材料疲勞出現(xiàn)裂紋。而利用熱膨脹系數(shù)小,導(dǎo)熱強(qiáng)、高溫強(qiáng)度好的鉬或鉬基合金,模具壽命大幅度延長(zhǎng)。壓鑄手表殼等精巧零件時(shí),貴金屬靶材多少錢,壽命可達(dá)5000次,一般為3000次,軸承生產(chǎn)中鎢板,鉬板,鎢棒,鉬棒,鎢管,鉬管,貴金屬靶材工藝,鎢坩堝,鉬坩堝采用鉬合金模具比原高速鋼、軸承鋼模具壽命提高15倍。
鎢-鈦靶材作為光伏電池鍍膜材料是近發(fā)展起來的,貴金屬靶材價(jià)格,它作為第三代太陽(yáng)能電池的阻擋層是佳選擇。
由于 W-Ti 系列薄膜具有非常優(yōu)良的性能,近幾年來應(yīng)用量急劇增加,2008年W-Ti 靶材世界用量已達(dá)到400t,隨著光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,重慶貴金屬靶材,這種靶材的需求量會(huì)越來越大。具行業(yè)預(yù)測(cè)其用量還會(huì)有很大的增加。國(guó)際太陽(yáng)能電池市場(chǎng)以的速度增長(zhǎng),目前世界有30 多公司參與太陽(yáng)能市場(chǎng)的進(jìn)一步開發(fā), 并已有的公司產(chǎn)品投入市場(chǎng)。
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