廣州潽拓光電(圖)-安捷倫分子泵抽速-東沙群島安捷倫

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫

測(cè)試過(guò)程

試驗(yàn)期間，渦輪泵以滿轉(zhuǎn)速持續(xù)運(yùn)行。初始的磁場(chǎng)設(shè)置為 1mT ，泵在該磁場(chǎng)下運(yùn)行 12 個(gè)小時(shí)以穩(wěn)定轉(zhuǎn)子溫度；然后關(guān)閉磁場(chǎng)，再運(yùn)行 12 個(gè)小時(shí)以使轉(zhuǎn)子降溫；然后再分別把磁場(chǎng)設(shè)置為 2mT，按照前面的步驟繼續(xù)進(jìn)行測(cè)試，直至磁場(chǎng)增加到 7mT 。

測(cè)試結(jié)果

當(dāng)磁場(chǎng)逐步增加后，被測(cè)分子泵轉(zhuǎn)子的平衡溫度也隨之上升，當(dāng)磁場(chǎng)強(qiáng)度為 7mT 時(shí)，平衡溫度上升到 100 攝氏度左右（安捷倫分子泵的允許溫度為 120 度）。

另外，KIT 使用該測(cè)試平臺(tái)測(cè)試了另一臺(tái)其它品牌的分子泵，一系列的對(duì)比測(cè)試表明，安捷倫分子泵在相同的磁場(chǎng)條件下轉(zhuǎn)子的平衡溫度明顯較低（ 5mT 時(shí)，安捷倫分子泵變頻器，低大約40度）。

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TwisTorr 404 FS 渦輪分子泵TwisTorr 404 FS 配備 DN100 法蘭，可提供 400 L/s 的抽速，對(duì)輕質(zhì)氣體可實(shí)現(xiàn)高壓縮比，還配備已注冊(cè)商標(biāo)的安捷倫懸浮軸承技術(shù) (AFS)，確保低振動(dòng)和低噪音，適用于各種敏感環(huán)境。TwisTorr 404 FS 的高壓縮比、高前級(jí)耐壓能力和免維護(hù)運(yùn)行使其成為一種可靠、、低成本的分子泵。

404 FS 是 UHV 系統(tǒng)、核研究、離子注入器、表面分析、電子顯微鏡和低溫應(yīng)用的選擇。該泵的智能控制器可根據(jù)系統(tǒng)需要自動(dòng)優(yōu)化泵的性能。

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Agilent 1260 Infinity 脫氣機(jī) G4225A 型號(hào)，東沙群島安捷倫，由四個(gè)單獨(dú)的真空腔以及半滲透性管、真空泵和控制組件組成。打開(kāi)真空脫氣機(jī)的電源開(kāi)關(guān)后，控制組件就會(huì)開(kāi)啟真空泵，真空泵可使真空腔內(nèi)產(chǎn)生低壓。其壓力由壓力傳感器測(cè)定。通過(guò)控制空氣入口過(guò)濾器漏率和使用壓力傳感器調(diào)節(jié)真空泵，真空脫氣機(jī)可以保持低壓狀態(tài)。

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安捷倫真空：提供適合電子顯微鏡的全套真空產(chǎn)品安捷倫真空對(duì)電子顯微鏡之類的聚束系統(tǒng)真空應(yīng)用有著非常豐富的經(jīng)驗(yàn)，為了滿足SEM、TEM系統(tǒng)高真空、低電磁噪聲和低振動(dòng)的要求，開(kāi)發(fā)了一系列的產(chǎn)品。

安捷倫其他常見(jiàn)應(yīng)用：

1.分析(質(zhì)譜分析、電子顯微鏡等)

2.半導(dǎo)體(電子組件、集成電路、柔性太陽(yáng)能電池等)

3.光學(xué)/玻璃(熱保護(hù)，安捷倫分子泵抽速，增透、反射、光學(xué)濾光膜)

4.鍍膜(表面保護(hù)，裝飾涂料，顯示器，安捷倫Turbo-V401，屏幕)

5.真空冶金(真空爐、真空釬焊、真空燒結(jié)、真空合金、)

6.泄漏檢測(cè)(真空系統(tǒng)、車輛的油箱，安全氣囊

7.研究實(shí)驗(yàn)(醫(yī)學(xué)成像、核粒子物理，核聚變研究，激光應(yīng)用和許多更多)

8.燈生產(chǎn)行業(yè)及相關(guān)

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性能指標(biāo)H2 壓縮比1.5 x 106前級(jí)管道法蘭尺寸KF 16 NW前級(jí)耐壓 — N212 mbar啟動(dòng)時(shí)間< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建議采用的前級(jí)泵容量7 m3/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s氣體通量 — N2、水冷250 sccm極限真空<1 x 10-10 mbar標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)證EN 61010-1

EN 61326-1

EN 1012-2

EN 12100

EN 50581

機(jī)械指令 2006/42/EC

電磁兼容性指令 2014/30/

EU 指令 2011/65/EU法蘭類型DN 100DN 160貯存環(huán)境溫度-40 至 +70 °C運(yùn)行環(huán)境溫度+5 to +35 °C重量5.84 kg額定轉(zhuǎn)速60 KRPM

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為了確認(rèn)磁場(chǎng)對(duì)分子泵工作的影響，德國(guó)卡爾斯魯厄理工學(xué)院（KIT）設(shè)計(jì)并執(zhí)行了下面的測(cè)試：

測(cè)試條件和裝置

被測(cè)分子泵的型號(hào)為 TwisTorr304 FS CFF6，使用一對(duì)亥姆霍茲線圈(直徑 120 厘米)來(lái)產(chǎn)生包圍整個(gè)泵的均勻磁場(chǎng)。

被測(cè)分子泵由一臺(tái)渦旋干泵作為前級(jí)，分子泵的進(jìn)氣口壓力抽至 1E-3 mbar 以下（該壓力以下，熱對(duì)流幾乎為零，分子泵轉(zhuǎn)子的熱量?jī)H可以通過(guò)輻射傳遞出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷卻水對(duì)分子泵持續(xù)進(jìn)行冷卻；分子泵的控制器會(huì)自動(dòng)調(diào)整電機(jī)電流，保持轉(zhuǎn)子以恒定轉(zhuǎn)速運(yùn)行。使用安裝于分子泵口的紅外溫度計(jì)測(cè)量被測(cè)試分子泵的轉(zhuǎn)子溫度。使用連接到分子泵外殼的 PT100 熱電阻測(cè)量定子的溫度。